1、附着力促进剂粉性（阳离子体系用附着力促进剂） 在并联电极反应器中，附着力促进剂粉性反应离子刻蚀室采用非对称设计，阴极面积小，阳极面积大，被蚀刻物放置在较小面积的电极上。在高频电源产生的热运动的作用下，带负电的自由电子由于质量小、运动速度快而很快到达阴极，而正离子由于质量大而同时到达阴极。无法连接。质量和慢速产生阴极。附近形成带负电荷的鞘。在鞘层...
