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水的附着力与温度关系

亲水性固体物质(亲水性固体水的表面张力大)

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SI-OH的表面浸泡在有机或无机碱中,亲水性固体水的表面张力大在特定温度下退火,然后键脱水聚合形成硅氧键。这提高了晶片表面的亲水性并实现了晶片键合。对于材料的直接键合,亲水晶片表面优于自发键合的疏水晶片表面。。碳化硅等离子表面处理碳化硅与其他高温材料相比,由于其平均热膨胀系数低、导热系数高、耐超高温...

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