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介质等离子体清洗机在等离子体蚀刻时,plasma/asse/jinlai/chanpin/denglizibiaomianchuli12.pngcoating什么意思一般会采用平行板电容耦合等离子体反应器,在平行板反应器中,反应室选用的是等离子体蚀刻室,阴极面积小,阳极面积不对称规划大,并且需要通过蚀刻将物体放置到较小的电极上。
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