等离子清洗机保养
1、检查电源连接
电压是否与设备匹配
（设备的电压为220V）。
2、检查输气管道的完整性及真空密封性
定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。
定期检查反应腔体门密封条是不是松动。
检查各管路是否连接紧固，老化等问题。
3、清洗反应腔室
首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。
其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。
4、定期检查真空泵油
每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪 音异常，则及时更换真空油。
